石英玻璃性能

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石英玻璃性能

  石英玻 璃是一种只含二氧化硅单一成份的特种玻璃。由于种类、工艺、原料的不同,国外常 常叫做硅酸玻璃、石英玻璃、熔融石英、熔凝石英、合成熔融石英,以及没 有明确概念的透明、半透明、不透明石英等。我国统称石英玻璃(石英玻璃片、石英玻璃管、石英玻璃仪器),多按工艺方法、用途及外观来分类,如电熔透明石英玻璃、连熔石英玻璃、气炼透明石英玻璃、合成石英玻璃、不透明石英玻璃、光学石英玻璃、半导体用石英玻璃、电光源用石英玻璃等。人们习惯于用“石英”这样一 个简单的词汇来命名这种材料,这是绝对不妥的,因为“石英”是二氧 化硅结晶态的一种通称,它与玻 璃态二氧化硅在理化性质上是有区别的。


1.纯度

  纯度是 石英玻璃的重要指标,对理化 性能和使用性能影响甚大,如失透性、高温强度、软化点、光的传导、热稳定性、化学稳定性、耐辐射性、荧光特性等;此外,用于半 导体工业的石英玻璃,对纯度 的要求更为苛刻,微量的 杂质将给半导体材料的电性能和寿命以及集成度带来严重的影响。由于半 导体材料的纯度要求控制在ppb数量级以下,因此石 英玻璃则应控制在PPm数量级 以适应半导体工业的需要。B的分凝系数近于1,最难除掉,是最有害的杂质之一,Cu、Fe、Ti等影响 半导体的少子寿命,K、Na、Li是单晶 材料产生微缺陷的有害杂质。本公司 为半导体工业服务已有40余年的历史,并始终 致力于去除上述有害杂质的研制工作。


2.失透性

  失透(又叫析晶性)是石英 玻璃的一个固有缺陷,从热力学观点看,石英玻 璃的内能高于结晶态方石英,属热力 学上不稳定的亚稳态,当温度高于1000℃时,SiO2 分子振动加速,经一段 较长时间的重新排列、定向便形成结晶。失透性 是以晶核成长速度来表示的,不透明石英玻璃在1520℃、透明石英玻璃在1620℃析晶速 度分别达到最大值。


  析晶主要出现在表面,其次是内部缺陷处,原因是 这些地方容易沾污,引起杂 质离子的局部集聚,特别是碱离子(如K、Na、Li、Ca、Mg等)进入网 络后引起粘度降低,促使失透加速。


  由于石 英玻璃的热膨胀系数和比重同析晶产物β-方石英相近,所以在 高温下连续使用时,尽管析晶区不断扩大,但体积变化并不明显,仍可满意地继续使用,此时尚 可减轻玻璃的塑性变形,使耐火度提高。当析晶产物冷却到800℃时,则出现 细小的龟裂网络。继续冷却到200-275℃时,则出现 方石英从高温型到低温型(即β-方石英→a-方石英)的结构变化,并伴随 着发生体积聚变,如果析晶层很深,则石英 玻璃亦随之破裂。由于析 晶常常出现在有杂质的地方,所以高 温使用前的表面状态及周围耐火材料、气氛十分重要。有关使 用石英玻璃时注意事项后面还要介绍。


3.化学性能

  石英玻璃属酸性材料,除氢氟酸和热磷酸外,对其它 任何酸均表现为惰性,是最好的耐酸材料。在常温 下碱和盐对石英玻璃的腐蚀程度也是极微的,因此不 排除在这些试剂中使用石英玻璃。


  透明石 英玻璃比不透明石英玻璃具有更好的化学稳定性,这是因 为后者由于气泡的存在暴露在腐蚀液中的表面积增加所致。


4.离子扩散及透气性

  石英玻 璃的结构十分松弛,甚至在 高温下还允许某些气体的离子通过网络进行扩散,其中以 钠离子的扩散为最快。石英玻 璃的这一性能对于使用者尤为重要,例如,半导体 工业用石英玻璃作为高温容器或扩散管时,由于半 导体材料要求很高的纯度,所以要 求与石英玻璃接触的作为炉衬的耐火材料必须预先经过高温和清洁处理,除掉钾、钠等碱性杂质,然后才 能放入石英玻璃内使用。


5.电学性能

  石英玻 璃具有很高的介电强度和极低的导电率,即是在高温、高压和高频下,仍能保 持很高的介电强度和电阻,在所应 用的频带内几乎没有介电损耗,因此石 英玻璃是优良的高温介电绝缘材料。


6.光学性能

  石英玻 璃的光学性能有其独到之处,它既可 以透过远紫外光谱,是所有 透紫外材料最优者,又可透 过可见光和近红外光谱。用户可以根据需要,从185-3500mμ波段范 围内任意选择所需品种。由于石英玻璃耐高温,热膨胀系数极小,化学热稳定性好,气泡、条纹、均匀性、双折射 又可与一般光学玻璃媲美,所以它 是在各种恶劣场合下工作具有高稳定度光学系统的必不可少的光学材料。

  石英玻璃的结构,杂质含量,OH基因及NO、CO等含量 是影响光谱透过率的主要因素,氧原子结合不良在0.24μ处则有吸收峰,含有OH基团的石英玻璃,在2.7μ处由于 分子振动将产生明显的吸收峰,紫外透 过率低主要是由于金属杂质多造成原子吸收光谱所致。


  电熔石 英玻璃是很好的透红外材料,但由于杂质的存在,紫外透过率低。氢氧焰 熔制水晶所获得的石英玻璃,由于氧结构缺陷,在0.24μ处有吸收峰,同时含有OH基团,所以红外透过极低。用合成 原料气炼的高纯光学石英玻璃是最好的透紫外材料,但在2.7μ处有严重的OH吸收峰。只有用 合成原料通过电熔或无氢火焰熔融而成的光学石英玻璃,才能很 好地透过从远紫外到近红外的连续光谱。


7.热学性能

  石英玻 璃的热膨胀系数小,为5.5×10-7/℃,只有普通玻璃的1/12~1/20.部标准 规定将试样灼烧到1200℃后急速投到冷水中,反复三 次以上不允许炸裂。石英玻 璃加入适量钛元素后还可做成零膨胀系数的材料,在激光技术、天文和 尖端技术中已得到应用。


8.机械性能

  石英玻 璃的机械性能比硬质玻璃和陶瓷都好,唯脆性较差。石英玻 璃的理论计算强度很高,约为24×103MPa,但实际 测得的强度要比这个数值低数十倍。影响强 度的主要因素首先是玻璃的表面缺陷,特别是 表面微裂纹的大小及深度影响最为明显,细磨的 石英玻璃试样比粗磨的试样,其抗折强度约增加0.6倍;其次是内在缺陷,例如,气泡、杂质、熔化不 均以及残余应力等。


  石英玻璃(石英玻璃片、石英玻璃管、石英玻璃仪器)的强度 随着温度的升高而增加,接近退 火温度时达到最大值。


  石英玻璃的剪切模量、杨氏模量、阻尼、泊松比、破坏模 量一般均随着温度的升高而增加,硬度则 随着温度的升高而降低。


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